MEX : Transformez votre microscope électronique
à balayage en profilomètre 3D
Le logiciel MEX
permet de transformer votre microscope électronique en outil
de mesure 3D en reconstruisant quantitativement la topographie.
Une fois la topographie reconstruite, ces
images 3D peuvent être visualisées, analysées pour mesurer
des profils, des surfaces et des volumes.
Comment MEX fonctionne ?
Des images de la même zone sont capturées en inclinant l’échantillon
sous deux ou trois angles différents. Le logiciel MEX recalcule automatiquement
la position relative des pixels des deux images et calcule la topographie de l’objet à
partir des informations de taille de pixel et d’angle de tilt. La reconstruction à
partir de 3 images permet de recalculer plus précisément les angles de tilt
et d'accéder à des mesures de topographie plus précises.
Quel est le temps de reconstruction ?
Le temps de reconstruction d’une
image va de quelques dizaines de secondes à quelques minutes
selon la taille des images et la puissance de
l’ordinateur. Sur un PC récent, des images de
2000*2000 pixels seront reconstruites en moins de 3 minutes.
Quelle est la limite de topographie mesurable ?
La reconstruction de topographie par microscopie électronique permet
d'accéder à une précision de 10 nm en z sur un
FEG. Le
MEB
permet d’avoir une mesure de topographie de surface dont les résolutions en x,
y et z sont identiques, contrairement aux méthodes optiques dont la résolution
en x et y est limitée à 400 nm environ.
Norme ISO 25178
L’acquisition de données et leur traitement dans le logiciel MEX est conforme
à la nouvelle norme ISO 25178 d’analyse de surface.
Essais
Vous pouvez procéder à des essais sur
demande. Les images reconstruites vous sont alors fournies
avec le logiciel de démonstration ce qui vous permet de
réaliser vous-même les mesures de profil, surface, volume.
Pour toute demande de renseignements,
logiciels de démonstration, analyses ou essais :
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