InfiniteFocus® est un système de métrologie optique d’assurance qualité dans le domaine micro et nano. Il fournit les fonctionnalités pour la mesure dimensionnelle, la caractérisation et l’analyse de surface.

Des géométries à pente importante, des propriétés réflectives variables et des rugosités importantes sont mesurées avec une résolution allant jusqu’à 10 nm. Ceci rend le système idéal pour des échantillons composites ou homogènes. Le choix de la zone à mesurer se fait directement dans l’image optique.

Son principe de fonctionnement combine la faible profondeur de champ d’un système optique avec un balayage vertical. Il fournit une information topographique combinée à une image en couleur à partir de la variation de focalisation. Des algorithmes uniques et novateurs reconstruisent cette information en une mesure 3D précise. Des standards certifiés garantissent la justesse de la mesure.

L’instrument peut être utilisé aussi bien en laboratoire qu’à proximité de la production. Les fonctions d’automatisation d’acquisition et de traitement peuvent être intégrées pour l’appliquer à une très grande diversité d’analyses métrologiques de surface.