Le système IMOXS est constitué d’un tube à rayons X de 50 W et d’un polycapillaire qui se monte sur un port du microscope et est ajusté pour créer un micro-spot au point d’analyse du système EDS. Il permet d’obtenir à la fois des taux de comptage élevés et un spot de 50 à 60 μ.

Le couplage du système IMOXS à un MEB équipé d’un système EDS donne accès à l’analyse de traces inaccessibles au système EDS seul.

• Le MEB sert à localiser la zone à analyser.
• Le système EDS à acquérir le spectre.
• Le système IMOXS fournit une excitation ponctuelle par des rayons X qui présente un meilleur rapport / pic sur bruit de fond et étend la gamme d’énergie utilisable à 25 keV.
  
  Ceci donne accès à des teneurs de quelques dizaines de ppm au lieu de 0.1 à 0.5 %.

Le système est livré avec un logiciel de traitement quantitatif des spectres acquis par le système EDS ainsi qu’avec un échantillon d’ajustement du point de focalisation.