L’intérêt principal de MEX est de fournir une information topographique :

• Dans des endroits difficilement accessibles par d’autres méthodes (AFM), sur des pentes importantes, au fond de cavités, etc.
• En choisissant la zone de mesure dans l’image du MEB : on voit la zone à mesurer, on choisit le grandissement le plus adapté et on mesure la topographie.
• De donner accès à des mesures où la pente est éventuellement importante.
• De fournir une mesure 3D dont la résolution en x, y et z est la même et meilleure en x et y qu’une mesure optique.

Ceci en fait un outil de mesure de micro et nano topographie unique dans la gamme des outils de mesure de topographie.

MEX est utilisé pour mesurer le profil de lames, de céramiques d’usinage, de surfaces d’usinage, de déformation, de découpage laser, de traitement de surfaces divers tel que dépôts de couches, sablage, durcissement, usure.

MEX permet d’accéder à la troisième dimension dans des endroits difficilement accessibles de MEMS de semi conducteurs.

On peut aussi mesurer la topographie d’objets naturels tels que des cendres volcaniques ou des cellules organiques.


               

Une fois la topographie mesurée, on peut faire des mesures sur des profils choisis entre tout point de l’image, des mesures de paramètres de surface selon la norme ISO 25178, des mesures de volume.