Le système EVACTRON utilisé sur un FEG a permis de passer d’un grandissement limité à X50 000 par la contamination à X500 000. Le même échantillon utilisé en AFM a permis de montrer que la contamination affectait aussi les images AFM.
Lien vers poster Evactron MEB AFM.pdf

Principe de fonctionnement du système EVACTRON et exemples d’amélioration de qualité d’image.
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