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Métrologie 3D optique sans contact |
|---|---|
| Evactron ® :
nettoyage et maintien de la qualité du vide et de la propreté de
surface des échantillons. Le système EVACTRON supprime les
contaminants organiques qui sont sources de perte de résolution et de
qualité d’image. Logiciel MEX : reconstruction 3D de la topographie d'un échantillon. MEX transforme votre microscope électronique en système de mesure de topographie de surface. C'est le système de mesure de rugosité x, y et z à l'échelle de quelques nm à plusieurs dizaines de microns le moins coûteux si vous disposez d'un microscope électronique. IMOXS : Monté sur un MEB équipé d’un détecteur EDS, le système iMOXS de microfluorescence X de IFG vous donne accès à la microanalyse quantitative de traces. |
InfiniteFocus :
Le système InfiniteFocus Alicona est un système optique de
mesure de topographie 3D sans contact dans le domaine micro et nano.
Il fournit toutes les fonctions de mesure dimensionnelles, d’analyse et de
caractérisation des surfaces. Sa capacité à mesurer des
pentes importantes, des variations de réflectivité, des
rugosités importantes avec une résolution verticale
jusqu’à 10 nm en fait l’outil idéal pour l’étude des
matériaux homogènes ou composites. Norme ISO 25178 : Le logiciel MEX et le système InfiniteFocus intègrent les nouvelles normes ISO 25178. |
| Rayons X |
|---|
| Optiques pour rayons X : capillaires, polycapillaires, monochromateurs
pour guider, focaliser et concentrer les faisceaux de rayons X. Ces
optiques permettent de disposer de micro faisceaux très intenses
à partir d’une source de rayons X de quelques watts. Systèmes intégrés :
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